مقاله ترجمه شده انگلیسی به فارسی خواص اپتیکی و الکتریکی لایه های اکسی نیترید آلومینیوم با بار منفی

دسته بندي : ترجمه مقالات » سایر
مقاله ترجمه شده انگلیسی به فارسی
عنوان انگلیسی:
Optical and electrical properties of negatively charged aluminium oxynitride films
عنوان فارسی:
خواص اپتیکی و الکتریکی لایه های اکسی نیترید آلومینیوم با بار منفی
چکیده:
لایه های نازک اکسی نیترید آلومینیوم (AlON) به وسیله مانیترون فرکانس رادیویی (RF) با برون پاشی در سوبسترای سیلیکون نوع n (Si) از جهت گیری با استفاده از گازهای آرگون (Ar) و اکسیژن ( ) در دمای سربسترای 450 درجه سانتیگراد ته نشین شده بودند. برای شناخت تغییر در خواص الکتریکی با نسبت گازها، یک رسوب گیری به مدت 140s در نسبت O:Ar انجام گرفته بود که از 1:3 به 4:3 تغییر کرد. بعد از آن، خواص الکتریکی ساختار نیمه رسانای عایق-فلز در AlON مورد تجزیه و تحلیل قرار گرفته بود.
تعداد صفحات انگلیسی: 3
تعداد صفحات فارسی: 9
سال مقاله: --
فرمت فایل: PDF انگلیسی+ Word فارسی
دسته بندی: ترجمه مقالات » سایر

تعداد مشاهده: 20 مشاهده

فرمت فایل دانلودی:.zip

فرمت فایل اصلی: doc,pdf

تعداد صفحات: 9

حجم فایل:808 کیلوبایت

 قیمت: 15,000 تومان
پس از پرداخت، لینک دانلود فایل برای شما نشان داده می شود.   پرداخت و دریافت فایل